XFAB对其180nm APD和SPAD器件进行重大改进 提升光子探测性能并增加其有源区面积
< 返回列表时间: 2021-02-05来源:工控之家网新闻
北京,中国,2021年2月4日-x-fab硅铸造厂(“x-fab”),一家全球公认的优秀光电解决方案制造商,今天宣布推出最新一代雪崩光电二极管(APD)和单光子雪崩二极管(SPAD)器件。X-fab的新型APD和SPAD采用成熟的、经过认证的180nm xh018高压工艺。由于创新的架构改进,与该公司早期的设备(最初于2019年年中发布)相比,它的性能有了显著提高,因此可以在光照强度具有挑战性的场景中使用。同时,保留了新设备与上一代设备的外形和连接兼容性,从而确保了升级路径简单方便,无需额外的工程工作。性能改进的一个最明显的方面是光子探测概率(PDP)。405nm入射光的PDP值为42%,近红外(NIR)频率提高达150%,850nm入射光的PDP值为5%。此外,后脉冲概率为0.9%,比第一代器件低70%;暗计数率(DCR)仅为13倍/S/μm~2,目前支持的填充因子(有源传感器表面积百分比)几乎翻了一番,达到33%。*由于APD/SPAD的击穿电压特性可能因器件而异,因此需要对其进行精确的测量,以保证APD/SPAD的良好性能。为此,x-fab内置了一个触发二极管,无需外接光源即可实现片上击穿电压的准确实时检测。新产品包括一个主动猝灭电路,可以加快SPAD器件的恢复速度,为进一步的光子探测做好准备。由于尺寸的灵活性(宽度和长度),新的SPAD带来了更出色的应用适应性。SPAD和APD器件的完整器件模型保证了第一次的正确性,新的内置触发二极管行为也包含在模型中由于增强型PDP和极具竞争力的DCR水平,我们面向市场的APD/SPAD解决方案具有令人印象深刻的信号完整性特征,这将使我们的客户在许多应用中获得直接利益,如医学领域的计算机断层扫描和荧光检测,x-fab光电业务部门经理Detlef sommer说,“这些先进的光电器件是x-fab设计套件的一个有价值的补充,并拓宽了xh018工艺中可互操作资产的范围。”注*此处引用的所有测量参数均适用于直径为10μm的光学有源区设备,在室温下被动淬火,过偏压2V。缩写APD雪崩光电二极管DCR暗计数率PDP光子探测概率SPAD单光子雪崩光电二极管关于x-fabx-fab是领先的模拟/混合信号和MEMS晶圆铸造集团,生产汽车、工业、消费用硅片,医疗和其他应用。X-fab采用模块化CMOS和SOI工艺,尺寸范围从1.0μm到130nm,以及其特有的SiC和MEMS长寿命工艺,为全球客户创造最高的质量标准、卓越的制造工艺和创新的解决方案。X-fab的模拟到数字集成电路(混合信号IC)、传感器和MEMS在德国、法国、马来西亚和美国的六个生产基地生产,全球约有3800名员工。www.xfab.com
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