五种常见的压力传感器测量原理详解
< 返回列表时间: 2021-01-29来源:工控之家网新闻
自动化技术的进步带动了工业设备的升级换代。除了液柱压力表和弹性压力表外,工业设备中还广泛使用能将压力转换成电信号的压力变送器和传感器。那么这些压力变送器和传感器是如何将压力信号转换成电信号的呢?今天,我们总结了最常见的压力传感器的测量原理。让我们一起玩得开心!1压电式压力传感器是一种基于压电效应的精密仪器,它利用电子元件和其它机械将被测压力转换成电能,然后进行相关的测量工作。压电传感器只能用于动态测量。主要压电材料有:磷酸二氢胺、酒石酸钾钠和石英。随着技术的发展,压电效应在多晶材料中得到了广泛的应用。例如:压电陶瓷、铌酸镁压电陶瓷、铌酸镁压电陶瓷、钛酸钡压电陶瓷等。基于压电效应的传感器有机电转换型和自发电型。它的敏感元件是由压电材料制成的。当压电材料受到外力作用时,表面会形成电荷。电荷经电荷放大器放大后,通过测量电路和阻抗变换,将电荷转换成与外力成比例的电输出。它用于测量力和可转换为力的非电物理量,如加速度和压力。其优点是:重量轻、工作可靠、结构简单、信噪比高、灵敏度高、信频带宽。缺点是:有些电压材料不宜潮湿,需要采取一系列防潮措施;而输出电流响应差,需要采用电荷放大器或高输入阻抗电路来弥补这一缺点。2压阻式压力传感器的压阻效应用来描述材料在机械应力作用下的电阻变化。与压电效应不同,压阻效应只产生阻抗变化,不产生电荷。大多数金属和半导体材料都具有压阻效应。由于硅是集成电路的主要材料,硅压阻器件的应用具有重要意义。阻力的变化不仅来自于与应力有关的几何变形,还来自于材料本身与应力有关的阻力,使度因子比金属大几百倍。压阻式压力传感器通常通过导线与惠斯通电桥相连。平时,敏感芯不受外界压力影响,电桥处于平衡状态(称为零位)。当按下传感器时,芯片电阻发生变化,电桥将失去平衡。如果在电桥上加上恒流或恒压电源,电桥将输出与压力相对应的电压信号,使传感器的电阻变化转化为通过电桥输出的压力信号。电桥检测电阻值的变化,经过放大,然后通过电压和电流的转换,将电流信号转换成相应的电流信号。电流信号通过非线性校正回路进行补偿,即产生与输入电压呈线性关系的4~20mA标准输出信号。为了减小温度变化对芯电阻的影响,提高测量精度,对压力传感器采取温度补偿措施,使其零漂、灵敏度、线性度、稳定性等技术指标保持在较高水平。三。电容式压力传感器以电容为敏感元件,将被测压力转换成电容值变化的压力传感器。这种压力传感器一般采用圆形金属膜或镀金属膜作为电容器的电极。当薄膜受到压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容发生变化,通过测量电路输出与电压有一定关系的电信号。电容式压力传感器属于电极间距变化型电容式传感器,可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。单电容式压力传感器由圆形薄膜和固定电极组成。电容器的灵敏度与薄膜的面积和压力成正比,但与薄膜的张力和薄膜到固定电极的距离成反比。另一种固定电极是凹球面的,膜片是一个固定在周围的张力面,膜片可以用塑料金属镀层制成。这种类型适用于测量低电压和高过载能力。带有活塞动极膜片的单电容式压力传感器也可用于测量高压。这种类型可以减少膜片的直接压力面积,从而使用更薄的膜片来提高灵敏度。它还封装了各种补偿保护元件和放大电路,提高了抗干扰能力。该传感器适用于动态高压测量和飞机遥测。单电容压力传感器有麦克风式和听诊器式两种。差动电容式压力传感器的压力膜片电极位于两个固定电极之间,形成两个电容器。在压力作用下,一个电容器的容量增大,而另一个电容器的容量减小。测量结果由差动电路输出。其固定电极是在凹面玻璃表面镀金属层制成的。在过载情况下,膜片由凹面保护,不会破裂。差动电容式压力传感器比单一电容式压力传感器具有更高的灵敏度和更好的线性度,但其加工难度大(尤其难以保证对称性),不能实现被测气体或液体的隔离,不适合在腐蚀性或杂质流体中工作。4电磁式压力传感器利用电磁原理称为电磁式压力传感器,主要包括感应式压力传感器、霍尔式压力传感器、涡流式压力传感器等。① 电感式压力传感器电感式压力传感器的工作原理是由于磁性材料和磁导率的不同。当压力作用在薄膜上时,气隙的大小发生变化,气隙的变化影响线圈电感的变化。处理电路将电感的变化转化为相应的信号输出,从而达到测量压力的目的。根据磁路的变化,压力传感器可分为变磁阻和变磁导率两种。感应式压力传感器具有灵敏度高、测量范围宽等优点,但缺点是不能应用于高频动态环境。可变磁阻压力传感器的主要部件是铁芯和膜片。它们之间的气隙形成磁路。当有压力时,气隙的大小发生变化,即磁电阻发生变化。在铁芯线圈上施加一定的电压,电流会随着气隙的变化而变化,从而测量压力。在高磁通密度的情况下,铁磁材料的磁导率是不稳定的。在这种情况下,可以使用可变渗透率压力传感器进行测量。可变磁导率压力传感器采用可移动的磁性元件代替铁芯。压力的变化导致磁性元件的运动,从而改变磁导率,得到压力值。② 霍尔压力传感器霍尔压力传感器是基于某些半导体材料的霍尔效应。霍尔效应是指当固体导体置于磁场中,电流通过时,导体中的载流子被洛伦兹力偏转到一侧,从而产生电压(霍尔电压)的现象。电压产生的电场力将平衡洛伦兹力。通过霍尔电压的极性,可以确定导体中的电流是由带负电荷的粒子(自由电子)的运动引起的。当垂直于电流方向的磁场作用于导体时,导体中的电子将被洛伦兹力聚集,并在电子聚集的方向上产生电场。这种电场会使后面的电子受到电场的作用,平衡磁场产生的洛伦兹力,使后面的电子顺利通过而不发生偏移,这就是霍尔效应。内置电压称为霍尔电压。当磁场为交变磁场时,霍尔电动势也是同频率的交变电动势。建立霍尔电动势的时间很短,所以其响应频率很高。霍尔器件中使用的材料大多是半导体,包括n型硅(SI)、锑化铟(InSb)、砷化铟(InAs)、锗(GE)、砷化镓(GaAs)和多层半导体结构材料。③ 涡流压力传感器是利用涡流效应,由运动磁场的交集产生的
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